6/8in全自動隧道式蝕刻清洗機 (Auto 6/8in Tunnel Type Etching/Cleaning Station)

**使用時間：6個月**

**已更新電控系統，自動卡匣傳送/各槽體內卡匣上下定位功能可正常運作，可依客戶藥水需求更新管路閥件**

規格簡介：

●外觀尺寸：4840mm(W)x1930mm(D)x 2950mm(H)。

●自動卡匣傳送手臂。

●原設計槽體種類：超音波加熱蝕刻槽、QDR槽、Rinse槽、QDR槽、IPA去水槽。

●超音波加熱蝕刻槽：PP槽體。

●QDR槽：PP槽體。

●控制系統：MITSUBISHI PLC 觸控人機介面與製程參數管理 。