落地型單槽顯影機 (Floor-standing Single Bowl Developer)

規格簡介:

●外觀尺寸：1000mm(W)x1200mm(D)x1500mm(H)。

●基材：400mmx320mm Glass Substrate。

●手動放片/自動供液

●自動供料手臂1組

●主軸轉速：3000 rpm Max. (±5rpm)。

●驅動程式：AC Servo Motor

●控制系統：MITSUBISHI PLC。

●記憶模組：10組。