200x200mm落地型顯影蝕刻機(Floor-standing Developer/Etcher)
規格簡介:
●外觀尺寸:1200mm(W)x1200mm(D)x1900mm(H)。
●基材:200mm×200mm Glass Substrate。
●手動放片/自動供藥
●供料系統:自動供液手臂1組
●主軸轉速:3,000 rpm Max.。
●旋轉機構:伺服馬達
●控制系統:MITSUBISHI PLC。
●記憶模組:10組。