4-inch落地型單頭旋轉塗佈機 (Floor-standing Single Bowl Spin Coater)

規格簡介:

●外觀尺寸：900mm(W)x800mm(D)x1800mm(H)。

●基材：2”~4” Substrates。

●手動放片/自動供料

●自動供料手臂1組

●主軸轉速：10~6000 rpm (±3rpm)。

●驅動程式：AC Servo Motor

●控制系統：MITSUBISHI PLC。

●記憶模組：10組。