4-inch落地型單頭旋轉塗佈機 (Floor-standing Single Bowl Spin Coater)

規格簡介:

●外觀尺寸：850mm(W)x800mm(D)x1700mm(H)。

●基材：2”~4” Substrate。

●手動放片/手動供液

●供料手臂1組

●主軸轉速：0~6000 rpm (±5rpm)。