落地型200mmx200mm單頭旋轉塗佈機 (Floor-standing 200mmx200mm Single Bowl Spin Coater)

規格簡介：

●外觀尺寸：1900mm(W)x1100mm(D)x 2050mm(H)。

●基材：80mmx80mm, 100mmx100mm, 200mmx200mm Glass Substrates。

●手動上片/自動供料

●供料系統：自動供料手臂1組

●主軸轉速：10~6,000 rpm (±1rpm)。

●驅動：AC Servo Motor

●控制系統：PC Base。

●記憶模組：30組。