2-6in桌上觸控輕便型旋轉塗佈機 (Tabletop Portable Touchscreen Spin Coater)

**超過35年的塗佈設備客製化設計與製程經驗，協助台灣大專院校、研究機構、與半導體與光電產業的塗佈製程研究開發。 **

**欣賢科技與工研院材化所合作超過10年，備有多套塗佈顯影設備，可共同協助客戶塗佈顯影製程的前期材料與製程評估。**

規格簡介：

●外觀尺寸：400mm(W)x450mm(D)x380mm(H)。

●基材：2”~6” Substrates。

●手動放片/手動供料

●主軸轉速：10~8,000 rpm (±3rpm)。

●驅動：DC Servo Motor。

●控制系統：PLC。

●記憶模組：10組。

●塗佈膜厚均勻性：≦±3% (4吋 Wafer九點測試)。

欣賢科技-2-6吋桌上輕便型塗佈機規格詳細說明(可下載)

詳細旋轉塗佈介紹與均勻性測試請參考型錄下載區檔案說明，可針對客戶需求安排塗佈測試。