100x100mm落地型顯影/清洗機 (Floor-standing Developer/Cleaner)

**顯影精度：線寬/線距(L/S)=3μm/3μm (光阻厚度5μm)**

規格簡介：

●外觀尺寸：1140mm(W)x1310mm(D)x2050mm(H)。

●基材：100mm×100mm Ceramic Substrate。

●手動放片/自動供液。

●供料系統：自動供液手臂1組(可供應2種顯影液、DIW、N2)

●主軸轉速：10~3,000 rpm (±3rpm)。

●旋轉機構：AC Servo Motor。

●藥液恆溫控制：藥液出口溫度可控制。

●控制系統：MITSUBISHI PLC。

●記憶模組：10組。